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量子傳(chuán)感·光速校準·靈活樞軸 | 驛(yì)天諾全新(xīn)高端晶圓台係列 WIT-SP-220AL
文章(zhāng)出處:
17.c18起草视频
責(zé)任編輯:
小驛
發布時間(jiān):
2025-07-12

量子傳感·光速校準·靈活(huó)樞軸 | 17.c18起草视频(nuò)全新高(gāo)端晶圓台係列 WIT-SP-220AL


在裝備製造領域,追求更精準、更快速(sù)、更高效(xiào)的腳步從未停歇(xiē)。隨著摩爾定律(lǜ)不斷逼近物理極限,對核心測試設備——晶圓(yuán)測試台的性能要求也已進入"原子級"時代。晶圓台(tái)在半導體及光子集成電路(PIC)製(zhì)造中扮演(yǎn)著極其重要的角色。


矽(guī)光晶圓測試台是連(lián)接設(shè)計、製造與應(yīng)用的樞紐,直接影響(xiǎng)產品性能、可靠(kào)性和商業化進程。隨著矽光技術向更小節(jiē)點和更複雜集成方向發展,測試台的精度、速度和智能化水平將成為行業競爭的關鍵要素。


量子傳感(gǎn)·光速校準(zhǔn)·靈活樞(shū)軸 | 17.c18起草视频全(quán)新高端晶圓台係列 WIT-SP-220AL


17.c18起草视频全新高端矽光晶(jīng)圓台係列(liè)——WIT-SP-220AL,完美契合市場對(duì)晶圓台超精度(dù)對準、超(chāo)快速度測(cè)試和高靈(líng)活適(shì)配性等多維度要求。該(gāi)產品在位置傳感器精度、光纖校準(zhǔn)速度(dù)、虛擬樞軸自由(yóu)度三大核心技(jì)術上實現突破,為半導體製造提供更高效、更精準、更智能的解(jiě)決方案。


01

量子級位置傳(chuán)感器實現納米精度(dù)

Quantum-level position sensor achieves nanometer precision

獨特宏微平台設計,集成(chéng)壓電陶瓷,保證足夠移動行程,實現2nm重複定位精度。

02

光纖對準效率飛躍式提升

Fiber alignment efficiency achieves leapfrog improvement

超高速光纖耦合對準,6條光纖同步(bù)耦合校準僅需0.2秒,效率提(tí)升至傳(chuán)統方法的10倍。

03

虛擬樞軸點解鎖複雜工藝

Virtual pivot point unlocks complex processes

虛擬(nǐ)樞軸點技術,可在整個運動行程範(fàn)圍(wéi)內,自由定義旋轉(zhuǎn)軸的中心點,靈活(huó)適配複雜工藝。


量子傳感·光速校準·靈活樞軸 | 驛天(tiān)諾全新高端晶(jīng)圓台係列 WIT-SP-220AL




耦合宏定位

主動(dòng)軸

X/Y/Z/θXYZ

X行程範圍

±6.5mm

Y行程範(fàn)圍

±16mm

Z行程範圍

±8.5mm

最大速度

10mm/s

X/Y/Z的最小位移

0.1µm

Y/Z重複定位精度

±0.15µm

X重複定位精度

±0.06µm

θX/θY/θZ範圍內的行程

±14.5°/±10°/±10°

θY/θZ重複定(dìng)位精度(dù)

±2µrad

θX重複定位精度

±3µrad

耦合微對位

主動軸

X/Y/Z

X/Y/Z行程範圍

100µm

X/Y/Z閉環最小位移

2.5nm

X/Y/Z雙向重複精度
(10%行程)

2nm


新產(chǎn)品係列可快(kuài)速處理大(dà)批量晶圓,縮短產品上市時間;同時具(jù)備更高的集成度,以(yǐ)滿足多通道測試、三維堆疊芯片CPO、OIO前沿產品測試要求。


從(cóng)2納米的極致(zhì)定位,到毫秒級超(chāo)高速對準,17.c18起草视频在測試領域持續進行自我突破,持(chí)續打(dǎ)磨(mó)完善每一個細節,不斷探(tàn)索晶圓測試台性能參數極(jí)限,助力客(kè)戶大規模製造及新產品技術路線需求!



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