全自(zì)動芯片測試(shì)係統(tǒng)
CA-6000AL

CA-6000AL全自動芯片測試係統是一款為(wéi)矽光、薄膜铌酸鋰、III-V族等領域芯片測(cè)試設計的高精度自動化設備。該設備主要適用於晶(jīng)圓切割後芯片的拾(shí)取、定位、測試及分選工作。其采用(yòng)全自動化操作流程(chéng),可對芯片進行高速、高精度測試,將單芯片平均測試時間壓縮至秒級以(yǐ)內,較傳統方式(shì)效率大幅度提升(shēng),為封測領域帶來新的發展(zhǎn)動(dòng)力。

產品特點

〇    納米級機械定位精度

〇    上下料支持藍膜或者芯片吸(xī)附盒多種形態

〇    集成純光測試/純電測試/光電混合測(cè)試/RF測試

〇    溫度穩定性高,穩(wěn)定性≤±0.2℃

〇    快速算(suàn)法優化,減少無效等待時(shí)間

〇    具備自動校準、實時(shí)故障診斷及預測性維護功能(néng)

〇    實現芯片全流程自動化測試與智能化(huà)數(shù)據分析

〇    全(quán)自動芯片搬運係統,實現快速抓取、定(dìng)位、測試及分選

〇    支(zhī)持耦合單(dān)通道、四通道、八通道芯片測試,耦合精(jīng)度(dù)高

〇    並行測試技術,顯(xiǎn)著提升測試效(xiào)率,降低單顆芯片測試成本

產品應用

該係統適用於多種類型無(wú)源/有(yǒu)源芯片、Bar條等,滿足量產及研發等多種應用場景,配合儀(yí)表可實(shí)現OO/OE/EE及高頻相關參數測(cè)試。

技(jì)術參數

基(jī)本參(cān)數

藍(lán)膜尺寸

12inch向下兼容

上下料方式

支持藍膜塑料環/藍膜鐵環/芯片吸附(fù)盒等多種形態組合上(shàng)下(xià)料方式

芯(xīn)片尺寸

可兼(jiān)容(róng)替換不同(tóng)尺寸吸嘴及載物台,滿足自動測試要求

OCR識(shí)別

自動識別Chip-ID,生成熱力圖

支持測試分選

光纖類型

SMF/Lens fiber/FA

耦光重複性(xìng)

0.3dB(典型(xíng)值)

耦合穩定性

0.3dB/5mins(典型(xíng)值)

耦合最(zuì)小分辨率

50nm(可(kě)定製更高分辨率)

耦合方式

GC/EC

自動(dòng)對(duì)光功(gōng)能

Sensor防撞

光纖類型

SMF/Lens fiber/FA

藍(lán)膜尺寸

12inch向下(xià)兼容

溫度參數

控溫方式

TEC

控溫範圍

-10℃~125℃(支持(chí)更寬範圍定製)

環境溫度一致性

±1℃

環境溫度(dù)穩定性

±0.5℃

功能特性

自動加(jiā)電功能

加電類(lèi)型

DC/RF

集(jí)成探(tàn)針個數

支持(chí)定製(zhì)

加電方式

探針/探針卡

探針類型

懸臂(bì)針/垂直針

清針類型

手動/自動

探針(zhēn)卡(kǎ)紮針精度

±2μm

產品特點

產品(pǐn)應用

技(jì)術參數

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