平移（yí）軸行程（X/Y/Z）

100mm/100mm/30mm

最小分辨率

5nm（高精度型號），常規100nm

最（zuì）小（xiǎo）運動（dòng）增量

50nm

重複性定位精度

±50nm

單向定位精度(閉環）

±0.5μm

旋轉軸（θx軸（zhóu）/θy軸（zhóu）/θz軸）

±6°/±5°/±6°

旋轉（zhuǎn）軸分辨率θx軸/θy軸/θz軸）

0.003°/0.002°/0.002°

光學耦合性能

Lens膠後控製

±2μm

耦合效率

單通（tōng）道：>90%（典型值），支持多通道並行耦合

自動化與生產效率

雙Lens同步耦合

1~2分鍾（zhōng）/雙Lens

點膠

膠量（liàng）精度±1%，支持納米級間隙填充

超精密運動控製

防震等級

VC-C

力反饋技術

壓力傳感器檢測Lens與基板接觸力<10g，避免器件損（sǔn）傷

機器學習（xí）

基於曆史數據優化耦合路徑，良率提升10~15%

多場景兼容性

支持模塊類型

QSFP-DD/QSFP/OSFP/CPO/BOX等

多工藝集（jí）成

雙透鏡（jìng）同時耦合（hé）

軟件

權限管理

區分研發/生產不同角色管理權限

工（gōng）藝流程序列（liè）化

支持自定義（yì）自動封裝流程，方便快速切換產品

高速圖像處理和算法

實時跟蹤（zōng）和調整Lens位置，配（pèi）合吸嘴完成精（jīng）準放置

耦合算法

支持角度耦合（hé）、螺旋耦合、爬坡算法等

國際化

支持英文、簡體中文、繁體中文

數據存儲

支（zhī）持MES係統銜接、數據庫存（cún）儲等

圖形化界麵

支持工藝參（cān）數實（shí）時監控（kòng）與曆史數據（jù）追溯