大幅度提高耦合速度
增加自動調整FA角度,提升FA校準效率
支持同種(zhǒng)功能的(de)儀表(biǎo)快速切換
增(zēng)加傳感器監測晶圓吸附狀態(2~12inch兼容)
升級(jí)頂部視覺倍率與分辨率,並支持(chí)一鍵切(qiē)換倍(bèi)率
升(shēng)級輔助視(shì)覺,可清晰觀(guān)察光纖/探針與晶(jīng)圓間相對高度
支持自定義高度采樣點,全盤掃高速(sù)度分(fèn)鍾級別以內
全新架構軟件,Prober與Tester分離(lí),Tester支持異步數據處理,實現快速(sù)測試