Inline晶圓測試解決方案

Inline晶圓測（cè）試解決方案

17.c18起草视频晶圓測（cè）試係統除（chú）了傳統的高（gāo）低溫以及高精度的自動化測試能力，目前也已經具備了（le）晶圓級端麵耦合、RF測試以及單die的調測能（néng）力（lì），測試範圍覆蓋OO/OE/EE/RF等。

Inline晶圓台的設計需（xū）要綜合考慮平整度、穩定性、材料（liào）選擇、熱管理、電（diàn）磁兼容性、真空兼容性、傳輸機製、清潔與維護、傳感器集成、自動化與集成以及安全性與可靠性等多個方麵，以確保其高效、穩定地運行，並滿足半導（dǎo）體製造的需求。