升級(jí)全行程(chéng)更高定位精度與重複定位精度(dù)
配置溫度傳感器,持續(xù)監控Stage溫度變化
可選配實時(shí)探(tàn)高功能
大幅度(dù)提高(gāo)耦合速度
增加自動調整FA角度,提升FA校準效率
支持同(tóng)種功能的儀表快速切換
增加傳感器監測晶圓(yuán)吸附狀態(2~12inch兼(jiān)容)
升級頂部視(shì)覺倍率與分(fèn)辨率,並(bìng)支(zhī)持一鍵切換倍(bèi)率
升級輔(fǔ)助視覺,可清晰觀察光纖(xiān)/探針與晶圓間相對高度
支持自定義(yì)高度(dù)采樣點,全盤掃高速(sù)度分鍾級別(bié)以內
全新架構軟件,Prober與(yǔ)Tester分離(lí),Tester支持異(yì)步數據處理,實現快速(sù)測試