Inline晶圓測試解決方案

17.c18起草视频晶圓（yuán）測試係統提（tí）供（gòng）超寬（kuān）溫帶（dài）測試範圍（wéi）與高精度自動化測試能力，目前也已經具（jù）備（bèi）了（le）晶圓級端麵耦合、RF測試以及單die的調（diào）測能力，測試範圍覆蓋（gài）OO/OE/EE等。係統同時（shí）兼容天車係統或者AGV係統對接功能。

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方案特點

矽光測試高精度電源模塊解（jiě）決（jué）方案升級（jí）全行程更高定位精度與重複定位精度

矽光測試高精（jīng）度電源模塊解決方案配置溫度傳感器，持續監控Stage溫度變化

矽光測試高精度電源（yuán）模塊解決方（fāng）案可選配實時探高（gāo）功能

矽光測（cè）試高精度電源模塊解決方案大幅度提高耦合速（sù）度

矽（guī）光測試（shì）高精（jīng）度電源模塊（kuài）解決方案增加自動調整FA角度（dù），提升FA校準效率

矽光測試高精度電源模塊解決方案支持同種功能的儀表快速切換

矽光測試高精度電源模塊解決方案增加傳感器監測晶（jīng）圓吸附狀態（2~12inch兼容）

矽光測試高精度電（diàn）源模塊解決（jué）方案升級頂部視覺倍率與分辨率，並支持一鍵切換（huàn）倍率

矽光測試高精度電源模塊解決方案升級輔助視覺，可清晰觀察（chá）光纖/探針與（yǔ）晶圓間相對高（gāo）度（dù）

矽光測試高精度電源（yuán）模塊解決方案支持自定義（yì）高度采樣點，全盤掃（sǎo）高速（sù）度分鍾級別以（yǐ）內

矽光測試（shì）高精度電源模塊解決方案全新架（jià）構軟件，Prober與Tester分離，Tester支持異步（bù）數（shù）據處理，實現快速測試

方案（àn）詳情

Inline晶圓台的設計需要（yào）綜合考慮平整度、穩定性、材料選（xuǎn）擇、熱管理、電磁兼容性、真空兼容性、傳輸機製、清潔與（yǔ）維（wéi）護、傳感器（qì）集成、自動（dòng）化與集成以及安全性與可（kě）靠性（xìng）等多個方麵，以確保其高效、穩定地運行，並滿足半導（dǎo）體製造的需求。

〇采用機械手臂傳輸晶圓，減少人手動誤操作及橡（xiàng）膠手（shǒu）套對晶圓的汙染

〇采用陶瓷托盤，保證熱穩定性（xìng）及材料物理惰性

〇具備OO/OE/EE/RF等測試能力

〇測（cè）試項目和測試範圍靈活可配置，成熟測試方案一鍵導入

〇可定製產品數據庫，自動（dòng）生成報表

〇可接入（rù）MES係統

〇無人值守，遠程可控製

〇可對接天（tiān）車軌道和協（xié）議（yì）

Inline晶圓測試解決方案