Inline晶圓測試是指在晶圓的不同加工製造工序中間穿插光電參數表（biǎo）征，對（duì）產品在不（bú）同工（gōng）序如CT、M1、M2等節點（diǎn）後的性能進行（háng）測量，這也是監控半導體產品量產質量的關鍵步驟之一，對於提（tí）前識（shí）別工（gōng）藝不良（liáng）、提高生產效率（lǜ）以及降低產品製造成（chéng）本具有（yǒu）重要意（yì）義。

Inline晶圓測試（shì）機台需（xū）要嚴格遵循（xún）Fab無塵室等級管控對線上生產裝備的（de）要求，在設計inline晶圓台（tái）時，需要特（tè）別（bié）注意以下幾點，以確保其高效、穩定地運行（háng）：

01穩定性

穩定性要求高，以減少因振動（dòng）或外（wài）部幹擾導致的加工誤差。

02材料選擇

選（xuǎn）擇（zé）具有足（zú）夠機械強度、熱穩定性（xìng）和（hé）化學（xué）惰性的（de）材料，如（rú）不鏽鋼、陶瓷（cí）或特殊合金。考慮材料對高溫、腐蝕等惡（è）劣環境的承受能力，確保（bǎo）晶圓台的使用壽命和可（kě）靠性。

03熱管理

確保工件台有良好的熱傳導性能，以保持晶圓溫度均勻一致。工件台本身要能快速（sù）響應溫度變化，避免因熱膨（péng）脹而影響精度。

04電磁兼容性

在某些半導體製造過程中，如離子植入或電子束曝光，需要考慮電磁屏蔽，以防止電磁場對晶圓台造成幹擾。

05真空兼容性

如果（guǒ）製造過程需要在高真空環境中進行，晶圓台必須能夠（gòu）適（shì）應（yīng）這（zhè）種環境，不產生氣體釋放。在高真空環境下，晶圓台需要保（bǎo）持良好的（de）機械性能和穩定性。

06傳輸機製

設計時需要考（kǎo）慮與其他機械部分的接口，如傳輸手臂或自動裝載係統。確保晶圓台具有高精度的定位能力和可靠（kào）的機械連接和傳輸機製。

07清潔與維護

設計應便於清潔和維護，以減少顆粒物和化學物質（zhì）的汙（wū）染風險。可以采用易於（yú）拆卸的部件和抗汙染塗層等技術來減少汙染。

08傳感器集成

為了實現精確的控製和監測，可能需要集成各種傳感器，如溫度傳感器、位（wèi）置傳感器和壓力傳感器等。這些傳（chuán）感器的（de）數據（jù）可以用於實時監控和調整製造（zào）過程，確保最（zuì）終產品的質量。

09自動化與集成

Inline晶圓台需要與整（zhěng）個生產（chǎn）線（xiàn）高度集成，實（shí）現自動化操作，以減少人為因素的影響，並提高生產效率。可以考慮采用先進的自動化技（jì）術，如機器視覺、機器人技術等，來提高晶圓台（tái）的自動化水平。

10安全性與可靠性（xìng）

在設計過程中，需要充（chōng）分考慮晶圓台的安全性和可靠性，確保在緊急情況下能夠（gòu）迅（xùn）速停機（jī）並保護晶圓不受損害。可以采（cǎi）用（yòng）冗餘設計、備份係統等措施來提（tí）高晶圓（yuán）台的安全性和可靠（kào）性。

17.c18起草视频解決方案 ：

17.c18起草视频晶圓測試係（xì）統除了傳統的高低溫以及高精度的自動化測（cè）試能力，目前也已經具備了晶圓（yuán）級端麵耦合、RF測試以及單（dān）die的（de）調測能力，測試範圍覆蓋OO/OE/EE/RF等，具體介紹如下：

1. 升級全行程更高定位精度與重複定位精度

2. 配置溫度傳感（gǎn）器（qì），持續監控（kòng）Stage溫度變（biàn）化

3. 增加傳感器監測晶圓吸附狀（zhuàng）態（2~12inch兼容）

4. 升級頂部視覺倍率與分辨率，並支持一鍵切換倍率

5. 升級輔助視覺，可清晰觀察光纖/探針與晶圓間相對高度

6. 可（kě）選配實時探高功能

7. 全新（xīn）架構軟件，Prober與Tester分離，Tester支（zhī）持異步數據處理，實現快速測試

8. 可支持選擇帶（dài）圖像補（bǔ）償功能的自動化測試，進一步提（tí）高定位精度

9. 支持自定義高度采樣點，全盤掃高速度5分鍾以內

10. 大幅度提高耦合速度

11. 增加自動調（diào）整FA角度（dù），提升（shēng）FA校準效率

12. 支持同種功能的儀表快（kuài）速切換

13. 耦（ǒu）合重複（fù）性：0.2dB@50次、0.3dB@2000次   

14. 耦合穩定性：0.2dB@5min、0.3dB@15min

產品（pǐn）特點：

1. 采用機械手臂傳輸晶圓，減少人手動誤操作及橡膠手套對（duì）晶圓（yuán）的汙染

2. 采用陶瓷托盤，保證熱穩定性及材料化學惰性

3. 具備OO/OE/EE等測試能力（lì）

4. 測試項目（mù）和測（cè）試範圍靈活可配置，成熟測試方案一鍵導入

5. 可定製產（chǎn）品數據庫（kù），自動生成報表

6. 可接（jiē）入MES係（xì）統

7. 無人值守，遠程可控（kòng）製（zhì）

總結：

Inline晶圓台的設計需要綜合（hé）考慮平（píng）整度（dù）、穩（wěn）定性（xìng）、材料選擇、熱管（guǎn）理、電磁兼容性、真空兼容性、傳（chuán）輸機製、清潔與維護、傳感器集成、自（zì）動化與集（jí）成以及（jí）安全（quán）性與可靠性（xìng）等多個方麵，以確保其高效、穩（wěn）定地運行，並滿足半導（dǎo）體製造的需求。

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武漢驛天（tiān）諾科技有限公司專注於第三代半導體&矽光封測設備，團隊擁有成熟的量產級半導體封測裝備開（kāi）發和應用經驗，具備整機係統（tǒng）創新研發能力以及核（hé）心部件國產化研發能力；公司（sī）致力於成為該領域（yù）優秀（xiù）企業。客戶群目前覆蓋多家國內（nèi）外知名企業，並（bìng）在設備性能、服務（wù）等各方麵獲得（dé）高度認（rèn）可。17.c18起草视频將不斷深耕第（dì）三代半（bàn）導體&矽光裝備與（yǔ）核心關鍵技（jì）術，以客戶需求為導（dǎo）向，與客戶攜手並進，共同開拓產業發展藍圖。